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          首頁 > 產品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF勻膠機 > MSC/SC1/2CIF勻膠旋涂儀

          CIF勻膠旋涂儀

          簡要描述:CIF 推出的旋涂機系列產品轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,CIF勻膠旋涂儀為實驗室提供了理想的解決方案。

          • 產品型號:MSC/SC1/2
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2024-10-25
          • 訪  問  量:8017

          詳細介紹

          品牌CIF

          產品特點

          ◆  CIF勻膠旋涂儀采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

           7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配 10 個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置 選配 20 個可編程程序,每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段,最多 100 個階段。

           內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。

          ◆  多重安全保護電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

          雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全。

          ◆  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

          ◆  一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

          ◆  符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。

           不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運行。

          ◆  上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。

          ◆  可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。

          ◆  CIF勻膠旋涂儀適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

          技術參數

          型號

          MSC

          SC1

          SC2

          轉速

          0-10000rpm

          0-10000rpm

          0-10000rpm

          加速度

          0-10000rpm/s

          0-10000rpm/s

          0-10000rpm/s

          轉速穩定度

          ±1%

          ±1%

          ±1%

          勻膠時間

          0-9999s

          0-9999s

          0-9999s

          工作艙直徑

          直徑 180mm

          直徑 180mm

          直徑 240mm

          基片尺寸

          圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

          圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

          圓片 Φ=8 吋,方片最大 140x140mm

          外型尺寸

          L245xW325xH215mm

          L245xW325xH285mm

          L305xW385xH285mm

          包裝尺寸

          L365xW445xH335mm

          L365xW445xH405mm

          L425xW505xH405mm

          整機重量

          6.3Kg

          7.6Kg

          11.6Kg


           

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          華儀行(北京)科技有限公司
          地址:北京市豐臺區科興路7號國際企業孵化中心301室
          郵箱:cif_lab@163.com
          傳真:86-010-63752028
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