Spin Coater的優點和缺點有哪些？

　　局限和缺點：在非旋轉對稱基板的情況下，由于強烈的空氣湍流，抗蝕劑在基板邊緣附近形成了明顯的邊緣珠。

　　Spin Coater對抗蝕劑膜厚度的影響當抗蝕劑剝離完成時，以一定旋轉速度給出的抗蝕劑膜厚度保持足夠長的旋轉時間。達到膜厚所需的旋轉時間隨抗蝕劑粘度的增加而增加。低旋轉速度也會導致增加時間，以獲得恒定的抗蝕劑膜厚度?？刮g劑膜中剩余的溶劑濃度也影響其厚度。在涂布過程中，溶劑濃度下降并達到約15-25％的飽和度，這取決于膜厚，對于較厚的膜則更高。

　　在有紋理的基材上，所獲得的紋理邊緣覆蓋范圍很小，并且拓撲結構的某些部分可能根本不會被覆蓋。僅有百分之幾的抗蝕劑產率相當低。

　　Spin Coater中的高環境溶劑飽和度會降低所獲得的抗蝕劑膜的厚度，由于抑制了溶劑從抗蝕劑中的蒸發，導致膜的平整度降低。因此，與隨后在旋涂機中涂覆有一定數量的新鮮抗蝕劑的晶片相比，一系列涂覆的前幾個晶片可能會顯示出稍高的膜厚。在這種情況下，需要借助于恒定的抗蝕劑膜厚度，在涂層系列開始時對一些虛擬晶片進行蝕刻將是有益的。該設備還會影響所獲得的抗蝕劑膜厚度：與標準系統相比，旋轉陀螺儀可將膜厚度減小兩倍。